真空断路器的故障处理和维护方法如下：
真空泡真空度降低：真空断路器在真空泡内开断电流并进行灭弧，而真空断路器本身没有定性、定量监测真空度特性的装置，所以真空度降低故障为隐性故障，其危险程度远远大于显性故障。真空度降低的主要原因有真空泡的材质或制作工艺存在问题，真空泡本身存在微小漏点；真空泡内波形管的材质或制作工艺存在问题，多次操作后出现漏点；分体式真空断路器，如使用电磁式操作机构的真空断路器，在操作时，由于操作连杆的距离比较大，直接影响开关的同期、弹跳、超行程等特性，使真空度降低的速度加快。
操动机构故障：操动机构故障的原因包括操作电压太低、接触行程太大、辅助开关的合闸联锁电接点过早打开、CD17型机构或弹簧机构的操动机构的半轴与掣子扣子接量太小以及CD10操动机构的“一”字板未调整好等。
合闸线圈被异物卡阻：在操作过程中，如遇到合闸线圈被异物卡阻的问题，需要先将异物吹走，然后用外力将线圈向下拉，如果情况严重则可以借助其他的操动机构合闸。
